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Energieführungen und Leitungen für Reinraum-Anwendungen

Maßgeschneidertes Reinraumlabor. Reinraumtests nach ISO 14644-14

Seit fast 20 Jahren zählt igus zu den Vorreitern bei Energiezuführungen in Reinräumen. igus bietet ein breites IPA-geprüftes Sortiment an e-ketten an, dass die Energiezufuhr in Reinräumen maschinenspezifisch und in leichter Montage ermöglicht. Da sich die Qualitätsanforderungen im Bereich der Reinraumtechnik sowohl von Seiten der Kunden wie von Seiten der Prüfnormen stetig erhöhen, arbeitet igus kontinuierlich an der Verbesserung der Produkte. Um noch schneller auf Kundenanforderungen reagieren zu können, hat igus zusammen mit dem Fraunhofer IPA Institute ein Reinraumlabor für die schnelle Entwicklung partikelfreier motion plastics gebaut. Das Labor ist geeignet für Reinräume bis zur Luftreinheitsklasse 1 gemäß ISO 14644-1.

Energieketten für Reinraumanwendungen

Über 9.000 Energieketten Serien für Reinraum-Anwendungen ISO Class-1 bis -5 zertifiziert 1)

e-skin und e-skin flat

e-skin und e-skin flat  
Empfehlung: Modulares zu öffnendes Wellrohr und flaches Kabelführungssystem

  • Einbauraum: ab 80 mm
  • Freitragende Länge bis 1,3 m
  • Reinraum ISO Class 1

Energiekettensystem Serie T3

Energiekettensystem Serie T3  
Hochflexibel und vibrationsarm

  • Innenhöhe hi: 29 mm
  • Innenbreite Bi: 30 - 120 mm
  • Biegeradien R: 38 mm
  • Teilung: 15 mm

Energiekettensystem Serie E3

Energiekettensystem Serie E3  
Extrem leise für kleinste Bauräume

  • Innenhöhe hi: 10 - 22 mm
  • Innenbreite Bi: 20 - 60 mm
  • Biegeradien R: 32 - 75 mm
  • Teilung: 16,7 mm

Energiekettensystem Serie E6.1

Energiekettensystem Serie E6.1  
Extrem leise und vibrationsarm

  • Innenhöhe hi: 29 - 80 mm
  • Innenbreite Bi: 30 - 140 mm
  • Biegeradien R: 55 - 150 mm
  • Teilung: 22 mm

Energiekettensystem Serie E6

Energiekettensystem Serie E6  
Extrem geräuscharm

  • Innenhöhe hi: 29 - 80 mm
  • Innenbreiten Bi: 30 - 120 mm
  • Biegeradien R: 55 - 150 mm
  • Teilung: 22 mm

Einzigartiges igus Reinraumlabor für ISO Klasse 1 Komponenten

Reinraumlabor  

Das neue igus Reinraumlabor wurde vom Fraunhofer IPA für die schnelle Entwicklung partikelfreier motion plastics gebaut.

Modulare Laminar Flow Boxen  

Die Tests zum Beispiel der e-skin Energieführungen finden gemäß der ISO 14644-14 Bedingungen in modularen Laminar Flow Boxen statt. 

Innovative igus Reinraumtechnik erfolgreich auf dem Prüfstand!

In der Halbleitfertigung müssen Bauteile wie Energieketten und Leitungen höchste Ansprüche bezüglich ihrer Partikelfreisetzung erfüllen. Um neue reinraumtaugliche motion plastics schneller entwickeln zu können, hat das Fraunhofer IPA als Entwicklungs- und Zertifizierung Partner im Auftrag von igus jetzt ein maßgeschneidertes Reinraumlabor mit einem Reinraumsystem der ISO-Klasse 1 in Köln konzipiert und realisiert. Mit dem neuen Labor lassen sich vorab Kundentests und Neuentwicklungen des  innerhalb kürzester Zeit unter realen Bedingungen durchführen.

Alle Testergebnisse

Das Fraunhofer Institut IPA hat diverse igus Energiekettenserien nach DIN EN ISO 14644-1 getestet. So können nunmehr für fast alle gängigen e-ketten von igus präzise Aussagen zu deren Einsatzmöglichkeiten im Reinraum getroffen werden.
 

Ergebnis nach
DIN EN ISO 14644-1
e-ketten®-SerieReport Nr.Geschwindigkeit
[m/s]
    
ISO Klasse 1SKS28.068.02.1 e-skin soft + cableIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 1SKY28.068.02.1 e-skin hybridIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 1SKF12.3.03.0106 e-skin flatIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 1SKF12.3.03.0101 e-skin flatIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 1SKF12.3.03.0102 e-skin flatIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 10.SKY28.068.02.1 e-skin hybridIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 10.SKS28.068.02.1 e-skin soft IG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 10.SK28.068.02.1 e-skinIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 1E61.29.050.075.0IG1303-6400,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 1E3.15.040.075.0IG0704-4000,5 / 1,0 / 2,0
 

weitere Testergebnisse

 

Ergebnis nach
DIN EN ISO 14644-1
e-ketten®-SerieReport Nr.Geschwindigkeit
[m/s]
    
ISO Klasse 21500.050.038.0IG1303-640-10,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 2T3.29.050.038.0IG1303-640-10,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 2E14.3.038.0IG0308-2950,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 32500.05.055.0IG0308-2950,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 3E6.29.060.150.0IG0704-4000,5 / 1,0 / 2,0
ISO Klasse 5E4.32.10.063.0IG1303-640-10,5 / 1,0 / 2,0
    
    
    
    
 

Leitungen für Reinraumanwendungen

1.084 aller chainflex Katalog-Leitungen nach ISO Klasse 1 oder Klasse 2 IPA zertifiziert1) (chainflex Leitungen mit getestetem Außenmantelwerkstoff ab Lager lieferbar)
918 Typen mit Reinraum Klassifizierung IPA Class1
166 Typen mit Reinraum Klassifizierung IPA Class2

Steuerleitung CFSOFT

Steuerleitung CFSOFT  

  • Für hohe Beanspruchung
  • PVC-Außenmantel
  • Flammwidrig
  • UV-beständig
  • Mindestbiegeradius: 6,8 - 8,5 x Leitungsdurchmesser

Busleitung CFBUS.LB

Busleitung CFBUS.LB  

  • Für hohe Beanspruchung
  • TPE-Außenmantel
  • Halogenfrei
  • Öl- und UV-beständig

Steuerleitung CF130.UL

Steuerleitung CF130.UL  

  • Für mittlere Beanspruchung
  • PVC-Außenmantel
  • Flammwidrig
  • Mindestbiegeradius: 7,5-10 x Leitungsdurchmesser

Steuerleitung CF9.UL

Steuerleitung CF9.UL  

  • Für höchste Beanspruchung
  • TPE-Außenmantel
  • Ölbeständig
  • PVC- und halogenfrei
  • Kälteflexibel
  • Mindestbiegeradius: 5 x Leitungsdurchmesser

Datenleitung CF240

Datenleitung CF240  

  • Für mittlere Beanspruchung
  • PVC-Außenmantel
  • Ölbeständig
  • Flammwidrig
  • Mindestbiegeradius: 10-12 x Leitungsdurchmesser

Motorleitung CF34.UL.D

Motorleitung CF34.UL.D  

  • Für höchste Beanspruchung
  • TPE-Außenmantel
  • Öl- und UV-beständig
  • Flammwidrig
  • Mindestbiegeradius: 7,5 x Leitungsdurchmesser

Pneumatikschlauch Clean Air

Pneumatikschlauch Clean Air  

  • Für höchste Beanspruchung
  • PE-Schlauch
  • Öl- und kühlmittelbeständig
  • Hoch abriebfest
  • Mindestbiegeradius: 10 x Durchmesser

Alle Testergebnisse

Unter Einbeziehung aller Leitungen mit gleichen Außenmänteln sind 80% aller im Katalog angegebenen chainflex Leitungen Klasse 1 oder 2 nach DIN EN ISO 14644-1 zertifiziert.

Ergebnis nach
DIN EN ISO 14644-1
chainflex®-LeitungReport Nr.Geschwindigkeit
[m/s]
im bewegten Einsatz gemessen
ISO Klasse 2CFSOFTIG0704-400in Serie E6.29.060.100.CR, bei v= 0,5/ 1,0 / 2,0 m/s
ISO Klasse 1CFBUS.LBIG0704-400in Serie E6.29.060.150.CR, bei v= 0,5 / 1,0 / 2,0 m/s
ISO Klasse 1CF130.05.12.ULIG1303-640-1in Serie E61.29.50.075.0.CR, bei v= 0,5 / 1,0 / 2,0 m/s
ISO Klasse 1CF130.15.07.ULIG1303-640-1in Serie E61.29.50.075.0.CR, bei v= 0,5 / 1,0 / 2,0 m/s
ISO Klasse 1CF240.02.24IG1303-640-1in Serie E61.29.50.075.0.CR, bei v= 0,5 / 1,0 / 2,0 m/s
ISO Klasse 1CF34.UL.25.04.DIG0704-400in Serie E6.29.060.150.CR, bei v= 0,5 / 1,0 / 2,0 m/s
ISO Klasse 1CF9.15.07IG0704-400in Serie E6.29.060.150.CR, bei v= 0,5 / 1,0 / 2,0 m/s
ISO Klasse 1CF Clean AirIG0704-400in Serie E6.29.060.150.CR, bei v= 1,0 m/s
ISO Klasse 2CF5.10.07IG0704-400in Serie E6.29.060.150.CR, bei v= 0,5 / 1,0 / 2,0 m/s

Fraunhofer IPA-Prüfungen  

Beim Betrieb sollen möglichst wenig Partikel an die Umgebung abgegeben werden. Dies gilt natürlich besonders für bewegliche Maschinenelemente wie Energieketten und Leitungen. Möglichst wenig Partikel zu generieren setzt hohe Abriebfestigkeit voraus - und ist damit auch ein Indikator für lange Lebensdauer. Dies ist ein Entwicklungsziel für alle igus® Produkte. igus® testet jedes seiner Produkte in aufwendigen und sorgfältigen Testverfahren im eigenen Labor. Erst was den Standards unseres Labors genügt, wird den darauf basierenden Fraunhofer IPA-Prüfungen unterzogen.
Den Beweis liefern Gutachten des IPA, Fraunhofer Institut, mit den zahlreichen igus® Produkten die bestmögliche Klassifizierung ISO Klasse 1 bescheinigt wird

Anwendungsbeispiele unserer Kunden

Fixload

Reinraumtauglich und abriebfest

Die Energiezuführungen der Serien E6 und E14 kommen bei der Produktion von Fixloads zum Einsatz. Die Energieketten sind reinraumtauglich und verschleißfest.

Wafer-Handling

Abriebfest

Mit der E6 ist die Energiezuführung bei Beschleunigungen von bis zu 4 m/s2 bei Geschwindigkeiten von bis zu 6 Metern pro Sekunde kein Problem zum Wafer-Handling in der Chip-Produktion.

Leiterplatten-Herstellung

Abriebfest

Eine abriebfeste e-skin von igus ist in Anlagen für die Produktion von Leiterplatten
und Halbleitern im Einsatz. Mit der e-skin ist Flugstaub kein Thema mehr.

Getestet für Reinräume

Messung des Partikelabriebs  

Messung des Partikelabriebs

Hier ist exemplarisch die E14 gezeigt, wie sie getestet wird, für die Nutzung in sensiblen Umgebungen in Reinraumanwendungen.

Testergebnis: Die E14, sowie alle oben genannten Energieketten, sind sehr verschleißfest und somit genügen sie den Anforderungen in Reinräumen.

1) Einzelne Serien verschiedenster igus® e-ketten® aus den Familien e-skin, E6, E6.1, T3, E3, E2/000, E4.1 und easy chain® sind nach DIN EN ISO 14644-1 ISO Klasse 1 bis ISO Klasse 5 vom IPA Fraunhofer Institut zertifiziert worden (Report IG1303-640-1, IG0704-400, IG308-295 und IG 1907-1125). Dies entspricht über 9.000 Artikeln aus dem e-ketten®-Programm gleicher Bauart/-prinzip.
2) Einzelne Größen aus dem drylin® Programm „T“, „N“ und „W“ sind nach DIN EN ISO 14644-1 ISO Klasse 3 bis ISO Klasse 6 vom IPA Fraunhofer Institut zertifiziert worden (Report IG308-295).
Dies entspricht 197 Artikeln aus dem drylin®-Programm gleicher Bauart/-prinzip.