Folgende drylin®-Führungen von igus® wurden untersucht: N40, W10, T25 und T30.
Lineargleitführung drylin® NK-02-40-02
„Für die Lineargleitführung drylin® NK-02-40-02 der Firma igus® GmbH kann aus den jeweiligen Berechnungen der Grenzwertüberschreitungswahrscheinlichkeit der Detektionsgrößen 0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm und 5 μm bei einer Verfahrgeschwindigkeit v = 1 m/s eine eindeutige Eignung für Reinräume der ISO-Klasse 6 nach DIN EN ISO 14644-1 abgeleitet werden.“
Die Messergebnisse der ESD-Kompatibilität nach SEMI E78-0998 zeigen, dass die Lineargleitführung drylin® NK-02-40- 02 als tauglich für den „Level 1“ eingestuft werden kann. Fraunhofer IPA Report No.: IG 0308- 295 73
Lineargleitführung drylin® TK-01-30-01
„Für die Lineargleitführung drylin® TK-01-30-01 der Firma igus® GmbH kann aus den jeweiligen Berechnungen der Grenzwertüberschreitungswahrscheinlichkeit der Detektionsgrößen 0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm und 5 μm bei einer Verfahrgeschwindigkeit v = 0,1 m/s eine eindeutige Eignung für Reinräume der ISO-Klasse 3 nach DIN EN ISO 14644-1 abgeleitet werden.“
Lineargleitführung drylin® TK-01-25-02
„Für die Lineargleitführung drylin® TK-01-25-02 der Firma igus® GmbH kann aus den jeweiligen Berechnungen der Grenzwertüberschreitungswahrscheinlichkeit der Detektionsgrößen 0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm und 5 μm bei einer Verfahrgeschwindigkeit v = 1 m/s eine eindeutige Eignung für Reinräume der ISO-Klasse 5 nach DIN EN ISO 14644-1 abgeleitet werden.“
Die Messergebnisse der ESD-Kompatibilität nach SEMI E78- 0998 zeigen, dass die Lineargleitführung drylin® TK-01-25-02 als tauglich für den „Level 1“ eingestuft werden kann.
Lineargleitführung drylin® WK-10-40-15-01
„Für die Lineargleitführung drylin® WK-10-40-15-01 der Firma igus® GmbH kann aus den jeweiligen Berechnungen der Grenzwertüberschreitungswahrscheinlichkeit der Detektionsgrößen 0,2 μm, 0,3 μm, 0,5 μm und 5 μm bei einer Verfahrgeschwindigkeit v = 1 m/s eine eindeutige Eignung für Reinräume der ISO-Klasse 6 nach DIN EN ISO 14644-1 abgeleitet werden.“
Die Messergebnisse der ESD-Kompatibilität nach SEMI E78- 0998 zeigen, dass die Lineargleitführung drylin® WK-10-40- 15-01 als tauglich für den „Level 1“ eingestuft werden kann. Fraunhofer IPA Report No.: IG 0308-295 74