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Schnell im Reinraum

Wafer-Handling

Eine igus® e-kette® der E6-Familie beschleunigt die Arbeitsabläufe bei dieser Anwendung zum Wafer-Handling in der Chip- Produktion. Mit der E6 ist die Energiezuführung bei Beschleunigungen von bis zu 4 m/s2 bei Geschwindigkeiten von bis zu 6 Metern pro Sekunde kein Problem. Besonders wichtig ist auch der geringe Abrieb, da es bei der Chip-Produktion auf hohe Reinheit ankommt. Die E6 ist reinraumtauglich mit IPA-Fraunhofer- Zertifizierung.


Schmid Technology Systems, Marijan Strugar,
Niedereschach, Germany

Wafer-Handling  
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